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FWPX四英寸低溫探針臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Lake Shore 的FWPX探針臺(tái)專(zhuān)為需要大尺寸晶圓探測(cè)的研究人員設(shè)計(jì)，它可以容納直徑高達(dá)102 mm（4英寸）的晶圓片，并可定制容納更大尺寸至152 mm（6英寸）的晶圓。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2024-04-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問(wèn)量：535

產(chǎn)品咨詢(xún) 13021034795

產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

低溫物理設(shè)備

傳感器探針臺(tái) 超導(dǎo)磁體、電源、液面計(jì)等低溫成像設(shè)備制冷機(jī)設(shè)備位移臺(tái)系列設(shè)備低溫恒溫器磁電測(cè)量設(shè)備

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Lake Shore 的FWPX探針臺(tái)專(zhuān)為需要大尺寸晶圓探測(cè)的研究人員設(shè)計(jì)，它可以容納直徑高達(dá)102 mm（4英寸）的晶圓片，并可定制容納更大尺寸至152 mm（6英寸）的晶圓。這款通用的探針臺(tái)主要是為研究者和工程師們做大樣品的材料特性表征而設(shè)計(jì)，同樣可以有效的測(cè)量有機(jī)材料。

FWPX探針臺(tái)采用了連續(xù)流制冷系統(tǒng)，使用液氦或液氮來(lái)冷卻晶圓片或樣品。它的標(biāo)準(zhǔn)工作范圍為4.5K~475K，使用低溫選件可將基礎(chǔ)低溫?cái)U(kuò)展至3.5K。

FWPX探針臺(tái)可進(jìn)行I-V，C-V 和微波等標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量。

FWPX探針臺(tái)最多同時(shí)安裝6個(gè)帶有熱沉的微型操縱探針臂，經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)后可用于電光測(cè)試。

主要特征：

√ 溫度范圍4.5 K~475 K

√ 可選低溫3.5 K

√ 樣品快速測(cè)量

√ 標(biāo)準(zhǔn)4英寸（102 mm）樣品，6英寸（152 mm）可定制

√ 樣品可面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)

√ 樣品振動(dòng)＜30 nm

設(shè)備參數(shù)：

溫度范圍
最多安裝6個(gè)探針臂	基礎(chǔ)溫度4.5 K，控制范圍5 K ~ 475 K
安裝PS-LT低溫選件	基礎(chǔ)溫度3.5 K，控制范圍4 K ~ 475 K
溫度穩(wěn)定性	液氦	液氮
基礎(chǔ)溫度 (無(wú)加熱控制)	±20 mK	±20 mK
<10 K	±50 mK	—
10 K ~ 100 K	±20 mK	±50 mK
101 K ~ 250 K	±20 mK	±50 mK
251 K ~ 350 K	±20 mK	±100 mK
351 K ~ 675 K	±50 mK	±100 mK
真空	以TPS-FRG分子泵組為標(biāo)準(zhǔn)
抽真空時(shí)間	30 min (<1 × 10^-3 Torr)
室溫下	<5 × 10^-4 Torr
基礎(chǔ)溫度下	<1 × 10^-5 Torr
最高溫度下	<5 × 10^-3 Torr
循環(huán)時(shí)間
總循環(huán)	3.5 h
抽真空	0.5 h
探針臺(tái)冷卻	1.5 h
探針臺(tái)升溫	1.5 h
樣品
最大尺寸	102 mm(4英寸)標(biāo)準(zhǔn)
樣品背光接口	不可選
樣品旋轉(zhuǎn)	±5°面內(nèi)旋轉(zhuǎn)
樣品平移	在x軸和y軸上平移，用于整個(gè)102 mm的晶圓片探測(cè)
樣品振動(dòng)	＜30 nm標(biāo)準(zhǔn)
探針配置
最大探針數(shù)	6
探針臂溫度計(jì)	用于監(jiān)視探針臂的溫度
冷卻探針支架	＜30 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)
探針支架	連接樣品臺(tái)熱沉
探針臂支架	連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針	電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量
微波探針	頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針	可用于電光測(cè)量
落針?lè)秶?/span>	所有探針均可在直徑為51毫米（2 英寸）的圓內(nèi)落針